特设子基金约占20%，跟投子基金约占30%。
据介绍，行业子基金由母基金与其他社会资本共同出资，按行业分别设立子基金；特设子基金主要对重点招商引资项目进行政策性股权投资；跟投子基金则对其他社会投资机构在我市所投资的项目进行跟投。
此外，产业基金还设有激励和约束机制。其中激励机制设定投资项目的基准收益率，超过基准收益率的部分，可按不高于50%的比例，让渡给其他基金公司和奖励项目技术团队；而约束机制则要求组建利益共同体，子基金管理机构要对子基金认缴出资，子基金如果出现亏损，首先由子基金管理机构以其出资额承担。
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